2023年全球及中国半导体专用设备、探针台行业市场销售规模研究预测及重点企业市场份额占比分析

半导体设备行业概况：半导体工艺流程复杂，对设备依赖度较高，设备性能直接影响半导体制造的品质、工艺效率及良率，所以半导体专用设备是半导体产业的先导、基础产业，具有技术壁垒高、研发周期长、研发投入高、制造难度大、设备价值高、客户验证壁垒高等特点，是半导体产业中最难攻克却至关重要的一环。

半导体专用设备主要应用于半导体制造流程中的硅片制备、晶圆制造、测试和封装等环节，包括单晶炉、光刻机、CVD、刻蚀机、探针台、测试机、分选机、减薄机、划片机等。

（1）全球半导体设备行业概况：

①半导体市场需求带动半导体专用设备行业规模增长：半导体设备位于产业链的上游，其市场规模随着下游半导体的技术发展和市场需求而波动。2013年至2021年，在智能手机、消费电子、数据中心等终端运用快速发展的推动下，半导体设备行业进入了一个总体上升的周期。中金企信国际咨询统计数据显示，全球半导体设备市场规模在2021年已达1,026亿美元。

②全球半导体专用设备市场主要由国际巨头占据：半导体专用设备具有技术壁垒高、研发周期长、研发投入高、制造难度大、设备价值高、客户验证壁垒高等特点，以美国应用材料（AMAT）、荷兰阿斯麦（ASML）、东京电子（TEL）、泛林半导体（LamResearch）、科磊（KLA）等为代表的国际知名半导体设备企业起步较早且经过多年发展，占据了全球半导体专用设备市场的主要份额。根据中金企信国际咨询统计数据，2020年，前述厂商占据了全球半导体设备市场65.5%的份额，其具体经营情况如下表所示：

单位：亿美元

数据统计：中金企信国际咨询

中金企信国际咨询公布的《2023-2029年半导体专用设备市场专项调研及投资建议可行性预测报告》

（2）我国半导体设备行业概况：

①中国大陆半导体设备行业规模快速增长：近年来，受益于强有力的国家战略支持，密集的资本和人才投入，以及全球半导体产业第三次转移，国内半导体专用设备企业迎来重大发展机遇。中金企信国际咨询统计数据显示，中国大陆半导体设备销售规模已由2013年的33.70亿美元增长至2021年的296.20亿美元，年复合增长率31.22%，高于全球半导体设备销售规增速。同时，中国大陆半导体设备市场规模在全球市场中的占比也逐年攀升，由2013年的10.60%增长至2021年的28.87%②半导体设备依赖进口现阶段我国半导体设备主要依赖进口，而且在中高端及核心设备领域，外知名半导体设备企业占据了较大份额。根据中金企信国际咨询统计数据，我国大陆三座典型晶圆厂长江存储（2017年至2021年）、华力集成（2016年至2021年）和华虹无锡（2018年至2021年）采购的核心半导体设备（用于薄膜沉积、过程控制、离子注入、光刻、涂胶显影等核心环节）中约有95%来自境外。

（3）产业发展趋势分析：

1）半导体测试设备行业发展情况及竞争态势：半导体测试设备的运用贯穿整个半导体制造过程，在半导体产业链中起着成本控制和保证品质的关键作用。芯片会经历晶圆、封测、PCB、电子系统、客户端等阶段，根据电子系统故障检测中的“十倍法则”，若芯片厂商未能及时发现芯片故障，则需在下一阶段耗费十倍的成本以排查和处理故障。此外，通过及时有效的检测，芯片厂商还可以合理筛选出不同性能等级的芯片或器件。

因此，随着芯片生产成本日渐高涨，半导体测试设备的重要性也日渐凸显。根据中金企信国际咨询统计数据，2021年全球半导体测试设备市场为78亿美元。随着半导体行业整体进入上升周期，半导体测试设备在可预见的未来将持续保持增长态势。全球半导体测试设备市场集中度高，各细分市场均被境外龙头企业所垄断，爱德万、科休、泰瑞达、东京电子、东京精密等境外企业占据了半导体测试设备市场的主要份额，境内企业与上述企业在整体规模、产品丰富度等方面存在一定差距。2020年，全球半导体测试设备市场中泰瑞达、科休、爱德万共占据了97%的市场份额；而在中国大陆，这一数值则达到了92%。目前，全球半导体测试设备市场的竞争格局如下表所示：

数据统计：中金企信国际咨询

（2）探针台设备行业发展情况及竞争态势：中金企信国际咨询统计数据显示：2020年全球半导体测试设备市场中探针台占据了15.2%的市场份额。

2020年中国半导体测试设备市场结构现状分析

数据统计：中金企信国际咨询

半导体探针台设备行业集中度较高，目前主要由国外厂商主导，行业呈现高度垄断的竞争格局。从全球市场上看，东京精密、东京电子两家公司占据全球约七成的市场份额；从中国大陆市场上看，2019年东京电子、东京精密、惠特科技、旺矽科技占据了74%的市场份额，中国大陆市场进口替代空间巨大。

中金企信国际咨询公布的《2023-2029年中国探针台行业专项深度调研及发展规划指导可行性预测报告》

（3）探针测试行业发展趋势：

①设备将向高精度化方向发展：现阶段半导体器件主要通过提高集成度的方式实现更多功能或更快响应。为此，半导体制造过程一般会缩小器件特征尺寸，如高端逻辑芯片的电路制程线宽已由微米级别缩小至纳米级别，最小已达3纳米；在LED芯片中，最小的MicroLED尺寸也已经缩小至50μm以下。此外，为避免器件集成度提高后单位制造成本过度上涨，业界一般使用更大尺寸的晶圆，通过在单片晶圆片上制造更多的芯片并提高边缘区域使用率的方法降低单位制造成本，目前主流晶圆尺寸已从4英寸、6英寸，逐步发展到8英寸和12英寸。

对于探针台，晶圆尺寸增加导致探针的移动行程更大，而器件集成度提升的同时缩小了PAD尺寸，这又要求探针具备更高的操作精度（例如：目前晶粒的尺寸PAD约40μm，考虑到探针具有一定尺寸，实际允许的探针操作误差仅为约5μm）。因此，随着半导体工艺进步，探针台也在向高精度方向发展以适应生产要求，高效、高精度定位已日渐成为探针测试设备的一项重要性能评价指标。

②设备更新迭代速度较快

根据半导体行业“一代设备，一代工艺，一代产品”的经验特征，下游半导体厂商新工艺迭代会带动半导体设备的同步更新，探针台设备也遵循该行业规律，例如，针对传统功率半导体器件的探针台即无法满足第三代化合物半导体器件测试需求。

目前，半导体行业整体处于上行周期，行业景气度推动新材料、新工艺、新制程频繁迭代，因此探针台设备也必须保持快速更新换代以适应下游新需求。

③各类技术等级设备并存发展：伴随半导体技术持续迅猛发展和半导体应用领域不断拓展，半导体器件种类日趋丰富。由于不同运用场景对半导体器件的功能、响应速度需求存在差异，因此各类性能、用途的器件或芯片大量并存，各器件的技术参数、制造工艺水平也不尽相同。上述现象决定了不同的产线需配置技术等级及性价比相当的半导体设备；即使在同一产线上，复杂程度不同的工艺环节也是根据其实际需要搭配使用各类技术等级的设备，因此产业内高、中、低各类技术等级生产设备并存发展且均有其对应的市场空间。

④半导体产业转移带来的半导体设备国产化替代：中国大陆连续多年成为全球最大的半导体消费市场，消费重心一定程度上牵引产能重心，全球半导体产能正不断向中国大陆转移。伴随国家对半导体产业发展的重大战略部署，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，封装测试技术逐步接近国际先进水平，核心技术水平不断取得突破，同时涌现出了一大批优秀的半导体设备制造企业。

然而与我国快速增长的半导体产业不相匹配的是，我国大量核心半导体设备长期依赖进口，导致半导体供应链存在严重的安全问题，这极大削弱了我国半导体厂商的竞争力。我国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越，设备产业将是重要环节。

在供应链安全日渐成为国内半导体厂商关注焦点后，同时伴随国家鼓励类产业政策落地实施和产业投资基金进入，本土半导体设备制造业迎来了前所未有的发展契机。近年来，国产半导体设备制造厂商已凭借突出的产品性价比、高效的服务响应、显著的地缘成本优势快速发展，进一步加快了我国半导体设备的国产化进程。