2023年中国工业废气处理设备行业发展需求现状分析及未来市场发展趋势研究

（1）工业废气处理设备行业运行现状：在部分行业的生产环节中，会产生不同类型、不同程度的废气污染物，根据生态环境部公布的生态环境统计年报，废气污染物被划分为二氧化硫、氮氧化物、颗粒物和挥发性有机物，上述分类常见于工业生产中常见的废气污染物。大气中污染物的增加会对生态环境造成不利影响，因此需要在工业生产中对废气污染物进行处理以达到排放标准。主要行业废气污染物排放种类如下表所示：

一般工业领域特别是电力、钢铁、水泥、玻璃、化工等行业，生产过程中会消耗大量的能源、原料等，相应的废气污染物的排放量也处于非常高的水平。因此，这类型的行业通常会配套大型的处理系统以满足较高的处理需求。一般工业领域产生的废气包括：二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、挥发性有机物等，依据废气种类的不同，目前发展出了不同的处理技术，具体如下表所示：

中国钢铁、水泥、玻璃产量长期居全球首位，化工产业规模亦居全球前列，相关行业在近年已基本完成了节能减排的目标，但在“双碳战略”、高质量发展的背景下，相关行业仍需进一步降低污染物排放量，因此废气治理领域发展前景广阔。国务院《“十四五”节能减排综合工作方案》要求到2025年，全国化学需氧量、氨氮、氮氧化物、挥发性有机物排放总量比2020年分别下降8%、8%、10%以上、10%以上，重点行业主要污染物排放控制水平基本达到国际先进水平。而根据中国环境保护产业协会的统计，2021年-2025年，中国大气污染治理市场规模约为1.6万亿-1.8万亿，其中，工业烟气治理市场规模约4,130-5,360亿元，挥发性有机物治理市场约6,500-7,500亿元。

中金企信国际咨询公布的《2023-2028年工业废气处理设备市场发展战略规划分析及投资规模前景可行性评估预测报告》

（2）半导体行业对工艺废气处理设备需求现状分析：半导体专用工艺废气处理设备主要用于处理半导体制程产生的工艺废气。晶圆制造各环节过程中会产生温室效应气体（CF4等）、腐蚀性气体（如HBr、Cl2等）、毒性气体（如BCl3等）、易燃易爆气体（SiH4、H2等）等工艺废气，工艺废气具有有毒有害的特性，需要经处理后才能对外排放。早期晶圆制造工艺中，工艺废气直接排放到厂务中央处理系统进行处理，这类处理方式将工艺废气集中于一个系统内处理，造成厂务中央处理系统处理负荷较大，引发管路腐蚀泄漏、爆炸等安全事故。为有效处理工艺废气、降低厂务中央处理系统处理负荷，晶圆制造产线产生对工艺废气处理设备的需求。半导体专用工艺废气处理设备在制程前端即通过真空泵排放管路与工艺设备相连，工艺制程反应产生的废气通过真空泵排放管理进入工艺废气处理设备，设备内部通过不同能量方式产生高温环境，工艺废气在高温环境内进行高温氧化反应，形成其他稳定化合物或水溶性物质后，再排放至厂务中央处理系统进行处理。半导体专用工艺废气处理设备将工艺废气的处理前置到工艺制程生产过程中，在工艺废气进入厂务中央处理系统前即进行无害化处理，实现了工艺废气高效处理。

2018-2022年全球半导体专用工艺废气处理设备市场规模现状分析

数据整理：中金企信国际咨询

2018-2022年中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模及京仪装备市场占有率分析

数据整理：中金企信国际咨询

以收入口径计算，2018年至2022年期间半导体专用工艺废气处理设备国内市场主要供应商包括京仪装备、戴思公司、爱德华公司等，该等主要供应商的市占率情况如下：

数据整理：中金企信国际咨询

以收入口径计算，2018年以来京仪装备半导体专用工艺废气处理设备市占率由3.12%上升至15.57%，市占率排名由第八上升至第四，市占率稳步提升。根据中金企信统计数据，以收入口径计算，半导体专用工艺废气处理设备国内市场集中度较高，2018年至2022年国内市占率前六厂商合计市占率水平维持在90%左右，其中京仪装备为唯一一家国内厂商，京仪装备产品已经打破国外厂商垄断地位。

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