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①宽禁带半导体设备是支撑宽禁带半导体产业发展的基石
半导体行业素有“一代设备，一代工艺，一代产品”的经验特征，晶圆制造要超前下游应用开发新一代工艺，而半导体设备要超前晶圆制造开发新一代设备。因而，半导体设备是半导体制造的基石。
宽禁带半导体的制造环节主要包括衬底、外延、晶圆（芯片）制造、封装及测试几个环节，各环节所需的主要设备如下：
在宽禁带半导体设备领域，主要专注于热加工环节（如：长晶、外延生长、加热退火、薄膜沉积等）相关设备的研发、生产。现有产品中，碳化硅晶体生长炉应用于衬底加工中的长晶环节，碳化硅同质外延设备应用于外延片加工的外延生长环节，常压化学气相沉积（APCVD）设备应用于晶圆制造的薄膜沉积环节。未来，还将围绕半导体热加工相关环节进一步研发更多的半导体设备。现有的上述设备中，碳化硅晶体生长炉已形成规模化销售，将是未来几年重点推广发展的产品。
②碳化硅晶体生长炉是碳化硅衬底制造的关键设备
A．碳化硅衬底是制约碳化硅半导体产业发展的重要瓶颈
碳化硅与传统的硅基器件在原理方面相似，但碳化硅材料具有高熔点、高硬度属性，所需的工艺难度远高于硅基材料，且由于碳化硅晶体生长速率慢、产品良率低，高品质碳化硅衬底的生产周期远大于传统硅基。因此，碳化硅衬底存在时间成本昂贵、加工工艺复杂的难点，其较低的供应量和较高的价格一直是制约碳化硅基器件大规模应用的主要因素之一。
由于碳化硅衬底制造难度高，碳化硅器件制造成本中，衬底和外延占主要部分。根据中金企信数据，碳化硅器件的成本构成中，衬底占比47%，是碳化硅器件制造产业链的重要组成部分。相应的，传统硅功率半导体器件成本构成中，衬底只占6%，其成本主要在前道晶圆处理环节。
数据整理：中金企信国际咨询
B．晶体生长炉是碳化硅衬底制备的关键设备
碳化硅衬底的制备工序包括原料合成、晶体生长、晶锭加工、晶棒切割以及晶片的研磨、抛光、清洗等环节。在这些工序环节中，晶体生长是核心难点。首先，碳化硅熔点高，晶锭通常需要在高温（>2,000℃）的环境中生长，且生长速度缓慢，碳化硅晶体的生长速度与传统硅材料相比相差数百倍，导致碳化硅晶锭的产出非常受限。其次，碳化硅存在200多种同质异构体，而其晶体生长通常在密闭的高温石墨坩埚中进行，无法即时观察晶体的生长状况，难以控制硅碳比、生长温度梯度、晶体生长速率以及气流气压等参数，容易产生异质晶型，影响良率。因此晶体生长是碳化硅衬底制备中的关键瓶颈，该环节所需的生产设备，即碳化硅晶体生长炉是影响碳化硅衬底制备及产业发展的关键设备。
③碳化硅晶体生长炉的市场情况分析
随着宽禁带半导体技术逐渐成熟，产业化应用逐步推广，我国碳化硅衬底及晶圆生产投资大幅增长。根据公开信息收集，截至2022年1月，我国碳化硅衬底及晶圆制造计划投资的部分项目情况如下（不完全统计）：
数据整理：中金企信国际咨询
根据上表统计，公开披露产能计划的尚未建设完成的项目合计碳化硅衬底产能为384.1万片/年。目前，导电型碳化硅衬底单台晶体生长炉合格衬底产能约为375片/年；半绝缘型碳化硅衬底单台晶体生长炉合格衬底产能约为780片/年。上述公开披露产能计划的项目未说明其具体生产的是导电型衬底还是半绝缘型衬底，为此分别以全部为导电型衬底、导电型和半绝缘型衬底各一半、全部为半绝缘型衬底三种情况对碳化硅晶体生长炉的增量市场需求规模进行估算。
数据整理：中金企信国际咨询
第一部分 行业发展现状 16
第一章 宽禁带半导体设备行业发展概述 16
第一节 宽禁带半导体设备的相关知识 16
第二节 宽禁带半导体设备市场重点企业分析总结 17
第三节 宽禁带半导体设备行业发展成熟度 20
第四节 宽禁带半导体设备市场主要经济指标分析 20
第二章2019-2024年全球宽禁带半导体设备行业发展形势分析 22
第一节 宽禁带半导体设备行业全球市场发展现状 22
一、宽禁带半导体设备行业全球产值发展现状 22
二、宽禁带半导体设备行业全球市场销售发展特点 23
三、2019-2024年全球宽禁带半导体设备需求分析 24
四、2019-2024年全球宽禁带半导体设备市场规模 25
五、2025-2031年全球宽禁带半导体设备市场规模预测 27
六、2019-2024年全球宽禁带半导体设备市场消费情况分析 28
第二节德国宽禁带半导体设备市场分析 29
一、宽禁带半导体设备行业德国市场发展现状 29
二、2019-2024年德国宽禁带半导体设备需求分析 30
三、2019-2024年德国宽禁带半导体设备市场规模 31
四、2025-2031年德国宽禁带半导体设备市场规模预测 33
五、2019-2024年德国宽禁带半导体设备市场销售情况分析 34
第三节日本宽禁带半导体设备市场分析 35
一、宽禁带半导体设备行业日本市场发展现状 35
二、2019-2024年日本宽禁带半导体设备需求分析 36
三、2019-2024年日本宽禁带半导体设备市场规模 37
四、2025-2031年日本宽禁带半导体设备市场规模预测 38
五、2019-2024年日本宽禁带半导体设备市场销售情况分析 39
第四节美国宽禁带半导体设备市场分析 41
一、宽禁带半导体设备行业美国市场发展现状 41
二、2019-2024年美国宽禁带半导体设备需求分析 42
三、2019-2024年美国宽禁带半导体设备市场规模 43
四、2025-2031年美国宽禁带半导体设备市场规模预测 44
五、2019-2024年美国宽禁带半导体设备市场销售情况分析 45
第五节韩国宽禁带半导体设备市场分析 46
一、宽禁带半导体设备行业韩国市场发展现状 46
二、2019-2024年韩国宽禁带半导体设备需求分析 47
三、2019-2024年韩国宽禁带半导体设备市场规模 48
四、2025-2031年韩国宽禁带半导体设备市场规模预测 49
五、2019-2024年韩国宽禁带半导体设备市场销售情况分析 50
第三章 我国宽禁带半导体设备行业发展现状 52
第一节 中国宽禁带半导体设备行业发展状况 52
一、2019-2024年宽禁带半导体设备行业发展状况分析 52
二、2019-2024年宽禁带半导体设备行业经营业绩分析 52
三、2019-2024年我国宽禁带半导体设备行业发展热点 53
第二节 中国宽禁带半导体设备市场供需状况 54
一、2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业供给能力 54
二、2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场供给分析 55
三、2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场需求分析 56
四、2019-2024年中国宽禁带半导体设备产品价格分析 57
第三节 2019-2024我国宽禁带半导体设备市场分析 59
一、2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场规模分析 59
二、2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场销售收入 60
第四章 宽禁带半导体设备产业经济运行分析 61
第一节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业工业总产值分析 61
一、2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业工业总产值分析 61
二、不同规模企业工业总产值分析 63
第二节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业总体规模分析 64
一、企业数量结构分析 64
二、行业生产规模分析 65
第三节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业产品成本费用分析 66
一、2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业成本费用总额分析 66
二、不同规模企业销售成本比较分析 67
第四节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业利润总额分析 69
一、2019-2024年中国宽禁带半导体设备产业利润总额分析 69
二、不同规模企业利润总额比较分析 70
第五节 盈利水平分析 71
一、2019-2024年宽禁带半导体设备行业营业收入情况 71
二、2019-2024年宽禁带半导体设备行业毛利率情况 72
三、2019-2024年宽禁带半导体设备行业赢利能力 73
四、2019-2024年宽禁带半导体设备行业赢利水平 74
第五章 中国宽禁带半导体设备市场供需分析 76
第一节 宽禁带半导体设备市场需求规模分析 76
一、中国宽禁带半导体设备总体市场规模分析 76
二、东北地区市场规模分析 77
三、华东地区市场规模分析 78
四、华中地区市场规模分析 79
五、华北地区市场规模分析 80
六、华南地区市场规模分析 81
七、西部地区市场规模分析 82
第二节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业销售利润率 83
第三节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业总资产利润率分析 84
第四节 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产值利税率分析 85
第五节 宽禁带半导体设备行业经营绩效分析 87
一、行业营运情况分析 87
二、行业盈利指标分析 87
三、行业偿债能力分析 88
四、行业成长性分析 89
第二部分 行业竞争格局 90
第六章 宽禁带半导体设备行业竞争格局分析 90
第一节 宽禁带半导体设备行业历史竞争格局概况 90
一、宽禁带半导体设备行业集中度分析 90
二、宽禁带半导体设备行业竞争程度分析 90
第二节 中国宽禁带半导体设备行业竞争结构分析 91
第三节 中国宽禁带半导体设备产业研发力分析 97
一、宽禁带半导体设备产业研发重要性分析 97
二、中国宽禁带半导体设备研发力问题分析 98
第四节 中国宽禁带半导体设备产业竞争状况 99
一、我国宽禁带半导体设备行业品类竞争现状 99
二、我国宽禁带半导体设备企业的竞争力分析 100
第五节 宽禁带半导体设备行业竞争格局分析 100
第七章 宽禁带半导体设备企业竞争策略分析 101
第一节 宽禁带半导体设备市场竞争策略分析 101
一、2019-2024年宽禁带半导体设备市场增长潜力分析 101
二、2019-2024年宽禁带半导体设备主要潜力品种分析 102
三、典型企业产品竞争策略分析 103
第二节 宽禁带半导体设备企业竞争策略分析 104
一、宽禁带半导体设备行业竞争格局的变化 104
二、2025-2031年我国宽禁带半导体设备市场竞争趋势 105
三、2025-2031年宽禁带半导体设备行业竞争格局展望 105
四、2025-2031年宽禁带半导体设备行业竞争策略分析 105
五、2025-2031年宽禁带半导体设备企业竞争策略分析 106
第八章 宽禁带半导体设备行业发展趋势分析 137
第一节 2025-2031年中国宽禁带半导体设备市场趋势分析 137
一、2025-2031年我国宽禁带半导体设备发展趋势分析 137
二、2019-2024年我国宽禁带半导体设备市场趋势总结 138
三、2025-2031年我国宽禁带半导体设备市场发展空间 139
第二节 2025-2031年宽禁带半导体设备产业发展趋势分析 140
一、2025-2031年宽禁带半导体设备产业政策趋向 140
二、2025-2031年宽禁带半导体设备技术革新趋势 142
三、2025-2031年宽禁带半导体设备价格走势分析 142
四、2025-2031年国际环境对行业的影响 143
第九章 未来宽禁带半导体设备行业发展预测 144
第一节 未来宽禁带半导体设备需求与消费预测 144
一、2025-2031年宽禁带半导体设备产品消费预测 144
二、2025-2031年宽禁带半导体设备市场规模预测 145
三、2025-2031年宽禁带半导体设备行业总产值预测 146
四、2025-2031年宽禁带半导体设备行业销售收入预测 147
五、2025-2031年宽禁带半导体设备行业总资产预测 148
第二节 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业供需预测 149
第三节2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业盈利预测分析 150
一、资产利润率走势预测 150
二、销售利润率走势预测 151
三、成本费用利润率走势预测 153
第四部分 投资战略研究 154
第十章 宽禁带半导体设备行业投资现状分析 154
第一节 2019-2024年宽禁带半导体设备行业投资情况分析 154
一、2019-2024年总体投资及结构 154
二、2019-2024年投资规模情况 155
三、2019-2024年投资增速情况 156
第二节 宽禁带半导体设备行业投资环境分析 157
第三节 宽禁带半导体设备行业“十四五”投资机会分析 163
一、宽禁带半导体设备投资项目分析 163
二、可以投资的宽禁带半导体设备模式 163
三、“十四五”宽禁带半导体设备行业投资机会 164
第四节 “十四五”规划将为宽禁带半导体设备行业找到新的增长点 165
第十一章 宽禁带半导体设备行业投资机会与风险 165
第一节 宽禁带半导体设备行业投资效益分析 165
一、2019-2024年宽禁带半导体设备行业投资状况分析 165
二、2025-2031年宽禁带半导体设备行业投资效益分析 166
三、2025-2031年宽禁带半导体设备行业投资趋势预测 167
四、2025-2031年宽禁带半导体设备行业投资的建议 169
五、新进入者应注意的障碍因素分析 171
第二节 影响宽禁带半导体设备行业发展的主要因素 172
一、2025-2031年影响宽禁带半导体设备行业运行的有利因素分析 172
二、2025-2031年影响宽禁带半导体设备行业运行的稳定因素分析 173
三、2025-2031年影响宽禁带半导体设备行业运行的不利因素分析 173
四、2025-2031年我国宽禁带半导体设备行业发展面临的挑战分析 175
五、2025-2031年我国宽禁带半导体设备行业发展面临的机遇分析 176
第三节 宽禁带半导体设备行业投资风险及控制策略分析 176
一、2025-2031年宽禁带半导体设备行业市场风险及控制策略 176
二、2025-2031年宽禁带半导体设备行业政策风险及控制策略 177
三、2025-2031年宽禁带半导体设备行业经营风险及控制策略 178
四、2025-2031年宽禁带半导体设备行业技术风险及控制策略 179
五、2025-2031年宽禁带半导体设备同业竞争风险及控制策略 179
六、2025-2031年宽禁带半导体设备行业其他风险及控制策略 180
第十二章 中金企信宽禁带半导体设备行业投资价值评估总结 181
图表目录
图表2 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业收入 20
图表3 2019-2024年全球宽禁带半导体设备总产值 22
图表4 2019-2024年全球宽禁带半导体设备销售收入 23
图表5 2019-2024年全球宽禁带半导体设备需求量 24
图表6 2019-2024年全球宽禁带半导体设备市场规模 26
图表7 2025-2031年全球宽禁带半导体设备市场规模预测 27
图表8 2019-2024年全球宽禁带半导体设备消费量 28
图表9 2019-2024年德国宽禁带半导体设备行业销售收入 29
图表10 2019-2024年德国宽禁带半导体设备行业需求量 31
图表11 2019-2024年德国宽禁带半导体设备行业市场规模 32
图表12 2025-2031年德国宽禁带半导体设备行业市场规模预测 33
图表13 2019-2024年德国宽禁带半导体设备行业消费量 34
图表14 2019-2024年日本宽禁带半导体设备行业销售收入 35
图表15 2019-2024年日本宽禁带半导体设备行业需求量 36
图表16 2019-2024年日本宽禁带半导体设备行业市场规模 37
图表17 2025-2031年日本宽禁带半导体设备行业市场规模预测 38
图表18 2019-2024年日本宽禁带半导体设备行业消费量 40
图表19 2019-2024年美国宽禁带半导体设备行业销售收入 41
图表20 2019-2024年美国宽禁带半导体设备行业需求量 42
图表21 2019-2024年美国宽禁带半导体设备行业市场规模 43
图表22 2025-2031年美国宽禁带半导体设备行业市场规模预测 44
图表23 2019-2024年美国宽禁带半导体设备行业消费量 45
图表24 2019-2024年韩国宽禁带半导体设备行业销售收入 46
图表25 2019-2024年韩国宽禁带半导体设备行业需求量 47
图表26 2019-2024年韩国宽禁带半导体设备行业市场规模 48
图表27 2025-2031年韩国宽禁带半导体设备行业市场规模预测 49
图表28 2019-2024年韩国宽禁带半导体设备行业消费量 51
图表29 2019-2024年中国宽禁带半导体设备销售收入 52
图表30 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产能 54
图表31 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业供给量 55
图表32 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业需求量 56
图表33 2019-2024年中国宽禁带半导体设备产品价格 57
图表34 2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场规模 59
图表35 2019-2024年中国宽禁带半导体设备销售收入 60
图表36 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产值 62
图表39 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产量 65
图表40 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业成本费用总额 67
图表42 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业利润总额 69
图表44 2019-2024年中国宽禁带半导体设备销售收入 71
图表45 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业毛利率 72
图表46 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业利润率 73
图表47 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业利润总额 74
图表48 2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场规模 76
图表49 2019-2024年东北地区宽禁带半导体设备市场规模 77
图表50 2019-2024年华东地区宽禁带半导体设备市场规模 78
图表51 2019-2024年华中地区宽禁带半导体设备市场规模 79
图表52 2019-2024年华北地区宽禁带半导体设备市场规模 80
图表53 2019-2024年华南地区宽禁带半导体设备市场规模 81
图表54 2019-2024年西部地区宽禁带半导体设备市场规模 82
图表55 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业利润率 83
图表56 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业总资产利润率 84
图表57 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产值利税率 86
图表58 2019-2024年中国宽禁带半导体设备营运能力 87
图表59 2019-2024年中国宽禁带半导体设备盈利能力 87
图表60 2019-2024年中国宽禁带半导体设备偿债能力 88
图表61 2019-2024年中国宽禁带半导体设备成长能力 89
图表64 2019-2024年中国宽禁带半导体设备市场容量 101
图表71 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业产量预测 137
图表72 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业产值 138
图表73 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业市场容量预测 139
图表74 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业价格预测 143
图表75 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业消费量预测 144
图表76 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业市场规模预测 145
图表77 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业产值预测 146
图表78 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业销售收入预测 147
图表79 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业总资产预测 148
图表80 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业供需差预测 149
图表81 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业资产利润率预测 150
图表82 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业销售利润率预测 152
图表83 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业成本费用利润率预测 153
图表84 2019-2024年我国宽禁带半导体设备行业总体投资结构 154
图表85 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业投资规模 155
图表86 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业投资增速 156
图表87 2019-2024年中国宽禁带半导体设备行业投资规模 165
图表88 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业利润预测 166
图表89 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业投资规模预测 167
图表90 2025-2031年宽禁带半导体设备行业经营风险及控制策略 178
图表91 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业需求量预测 182
图表92 2025-2031年中国宽禁带半导体设备行业利润预测 184
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