一、MEMS探针卡行业概述

探针卡(ProbeCard)是半导体晶圆测试(CP测试)中的核心接口部件与耗材，用于连接自动测试设备(ATE)与晶圆上的芯片焊垫，在芯片封装前进行电性能测试与筛选，以管控成本、提升良率。根据技术原理，主要分为悬臂式、垂直式和先进的MEMS探针卡。其中MEMS探针卡又可分为2DMEMS探针卡和3DMEMS探针卡。3DMEMS探针卡是当前技术天花板，探针直径小于10μm，针数最高达20万针，能适配28nm以下先进制程、3DIC封装、HBM存储等复杂场景。

二、MEMS探针卡行业相关政策梳理

探针卡行业的发展与半导体产业密切相关。半导体是现代化产业体系的核心枢纽，关系国家安全和中国式现代化进程。近年来，我国积极出台了一系列产业政策，如《2025政府工作报告》、《扎实推进高水平对外开放更大力度吸引和利用外资行动方案》等，为MEMS探针卡行业的发展营造了良好的政策环境。

三、MEMS探针卡行业现状分析

1、全球

MEMS探针卡凭借卓越的性能表现，在中高端芯片的晶圆测试环节得到广泛应用，能够支持当前市场最先进制程芯片的测试需求。随着半导体制程技术的持续演进以及中高端芯片应用场景的不断拓展，市场对MEMS探针卡的需求也随之增长。数据显示，2025年全球MEMS探针卡市场规模达到16.62亿美元，同比增长8.8%。从区域格局来看，亚太地区占据主导地位，2025年以60.94%的占比领跑全球。

数据整理：中金企信国际咨询

2、中国

1）市场规模及价格

MEMS探针卡具有精密度高、测试效率高、耐用性强、稳定性好等优势，是目前探针卡产品行业的主导产品。据统计，2018年中国MEMS探针卡市场规模为5.34亿元，2025年扩大至12.8亿元。近几年，我国MEMS探针卡行业价格整体呈现下滑态势，MEMS探针卡均价从2018年的66.83万元/张下滑至2025年的61.51万元/张。

2）产量及需求量

伴随国内半导体产业的蓬勃发展以及国产MEMS探针卡技术的日益成熟，产量呈现逐年攀升态势。2024年中国MEMS探针卡产量首次突破1000张，2025年产量进一步增长至1182张，同期市场需求量为2081张。

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